(1) PVD-eelne töötlemine, sealhulgas esemete puhastamine ja eeltöötlus.Spetsiifilised puhastusmeetodid hõlmavad puhastusvahendiga puhastamist, keemilise lahustiga puhastamist, ultrahelipuhastust ja ioonidega pommitamist.
(2) Pange need ahju, sealhulgas vaakumkambri puhastamine ja kinnitusvahendid ning esemete ja kinnitusdetailide paigaldamine, kasutuselevõtmine ja ühendamine.
(3) Vaakumpump, tavaliselt 6,6 Pa või rohkem pumpamine, avage difusioonpumba esiosa varem, et vaakumpumpa hooldada ja difusioonpumpa soojendada.Kui eelsoojendamine on piisav, avatakse kõrge klapp ja pumbatakse difusioonpumbaga 6 x 10-3 Pa poolpõhja vaakumisse.
(4) Küpsetamine, esemete küpsetamine soovitud temperatuurini.
(5) Ioonidega pommitamine, vaakum on üldiselt 10 Pa kuni 10-1 Pa, ioonidega pommitamise pinge on negatiivne kõrgepinge 200 V kuni 1 KV ja ründeaeg on 15 min kuni 30 min.
(6) Eelsulatamine, voolu reguleerimine materjali eelsulatamiseks, voolu reguleerimine plaadistuse eelsulatamiseks ja degaseerimine 1 min ~ 2 min.Aurustunud sadestumine.Aurustusvoolu reguleeritakse vastavalt vajadusele, kuni soovitud sadestusaeg on möödas.Jahutamine, esemed jahutatakse vaakumkambris teatud temperatuurini.
(7) Pärast esemete väljavõtmist vaakumkamber suletakse, vaakum evakueeritakse rõhuni l × l0-1Pa ja difusioonipump jahutatakse lubatud temperatuurini, enne kui hoolduspumba ja jahutusvee saab välja lülitada.